機内減圧運転が可能(到達真空度:1000PaA~)
機内減圧運転が可能(到達真空度:133PaA~)
不活性ガス循環システム、乾燥・冷却運転減圧運転等、様々な乾燥形態に対応
溶剤含有ガスから溶剤を活性炭に吸着し真空減圧方式にて脱離・回収